




ST系列鍍膜機
ST系列鍍膜機系我司標準化產品,滿足大部分實驗室科研需求,豐富的可選配置也可響應您的特殊需要。特點:1、集成一體化結構。
2、極限真空度高,可達7×10-5Pa,可保證更高的鍍膜純凈度,提高鍍膜質量。
3、從大氣到工作背景真空(7×10-4Pa)時間短,30分鐘左右(充干燥氮氣)。 系統停泵關機12小時后真空度:≤8Pa。
4、整機采用柜式結構,密封性能好,防塵防水,安全。
5、磁控、熱蒸發(fā)多種鍍膜方式可選。
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真空鍍膜機的詳細結構
高真空鍍膜機,鍍膜機是目前制作真空條件應用為廣泛的設備。其相關組成及各部件:機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量系統.
一、真空主體——真空腔
根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統
此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成
排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。
排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。
機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果并依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應用于大型設備)、活塞往復式、定片式和旋片式(此目前應用廣泛,本文主要介紹)四種類型。
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真空鍍膜設備的日常維護
真空鍍膜設備的運行狀況直接影響生產工藝、產品質量和生產進程等,為了使設備的運行狀況良好,必須建立和完善設備的維護與維修制度、維護內容、維修標準等。
設備的維護要有日常維護和定期維護
1,日常維護就是在當天生產中發(fā)現設備有不良跡象,就馬上解決。使用磁控濺射的真空鍍膜機一般采用的是圓筒主體結構,結構上要保證快速抽空,因氣袋會緩慢的放氣,因此要避免出現隔離孔穴,真空系統上端會加裝磁控濺射槍,為了使真空室和元件有足夠的強度,保證在外部和內部的作用力下不產生形狀的變化,厚度需要足夠。發(fā)現機械泵的油少了就要添加,不要認為這油是定期更換的,等到了時間再維護,到時候可能泵的轉子就會磨損嚴重了。再比如工件轉架的軸承有些卡,就要更換軸承,而等到它徹底的壞了再換,問題可就大了,可能引起轉架電機燒毀等現象。
2定期維護,有人會問有了日常維護還有必要定期維護嗎?其實每一種設備都有自己的使用壽命,比如擴散泵用的的硅油,使用壽命為兩年左右,我就規(guī)定1年半把它換掉,這樣作是不是浪費,我覺得不浪費,從設備服務于生產來說是值得的,老板不希望看到的是機器在生產階段出現問題。艾明坷科技有限公司主營手套箱,如需了解更多詳情,歡迎與我們交流。只要你把日常維護和定期維護做好了,在延長設備壽命的同時,生產過程中出現故障的幾率也大大降低。生產效率也提高了。
3,設備保養(yǎng)和維修1重要的是講究“細心”,每一個人都力求做到“我辦事,你放心”,也就是說我做的事情不需要別人和自己再有懷疑!做好這一點可少走好多彎路,其次是要善于分析現象,不能盲目的拆卸。(1)金黃色的,是在刀具上涂鍍了TiN、ZrN涂層,TiN是第1代應用廣泛的硬質層材料。說到這里,很多人都遇到過真空方面的漏氣問題,真空部分出現了問題很麻煩,再加上我們公司沒有檢漏儀,這就要分階段來找。
真空鍍膜機部件分析
真空主體——真空腔根據加工產品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用1多的有直徑1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔體由不銹鋼' target=_blank>不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實等,真空腔各部分有連接閥,用來連接各抽氣泵浦。第三,查看漏孔的巨細,形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。
輔助抽氣系統:排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。
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